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康耐視哪種半導體解決方案才最“對位”?

        在當(dang)今全(quan)球半(ban)導體(ti)市場中(zhong),多(duo)數半(ban)導體(ti)器件和(he)(he)集成電路(lu)(LSI)都是(shi)用高純優質(zhi)的(de)(de)硅拋光(guang)片(pian)和(he)(he)外延片(pian)制作的(de)(de)。半(ban)導體(ti)硅材(cai)料以(yi)豐(feng)富的(de)(de)資源、優質(zhi)的(de)(de)特(te)性(xing)、日(ri)臻完善(shan)的(de)(de)工藝以(yi)及廣泛的(de)(de)用途等綜合優勢(shi)而成為了當(dang)代電子工業中(zhong)應用最多(duo)的(de)(de)半(ban)導體(ti)材(cai)料,也因此如今半(ban)導體(ti)的(de)(de)特(te)征尺寸已升至納米(mi)級,這就要求半(ban)導體(ti)制造工藝:如執(zhi)行光(guang)刻、切割、引線接合和(he)(he)包裝等,需達到超高精度的(de)(de)對準。

半導體市場.png

聽起來是不是很苛刻?但康耐視對準解決方案,即使在不利條件下也能快速、精確地定位和對準圖案和基準點,從而最大程度地提高產量、提高質量并降低成本。


下面就來介紹兩個具體的對位(wei)解決方案:

1晶圓切口檢測

常見問題

在晶圓制造過程中,了解半導體晶圓的位置和朝向非常關鍵。通常是通過監測晶圓上的切口了解晶圓朝向的。但因為晶圓成本極高,制造過程中的任何未對準都會造成嚴重且不可修復的缺陷,導致晶圓報廢。


尋找(zhao)缺口(kou)的傳統方(fang)法(fa)是使用通光束陣列激光傳感器,這需(xu)要(yao)在(zai)晶(jing)圓上方(fang)和(he)下(xia)方(fang)安裝笨重的發射器和(he)接收器。這會(hui)占用寶(bao)貴的機械空(kong)間,并且因為需(xu)要(yao)晶(jing)圓一直旋轉到發現切口(kou),所以會(hui)浪費(fei)時(shi)間。隨著透明晶(jing)圓(SiC)和(he)其他特殊晶(jing)圓涂(tu)層(ceng)的推出,通光束傳感器變(bian)得更難準確地找(zhao)到切口(kou),提(ti)高了未(wei)對準的幾率。

解決方案

晶圓切口檢測.png

     康耐視In-Sight視覺系統能夠精確地識別晶圓切口和XY位置,精度高達0.025像素。這些系統中的強大軟件,如康耐視的PatMax圖案式機器視覺物體定位技術,可以在任何方向上精確檢測晶圓的缺口,并將位置和尺寸數據輸出給裝配機器人或PLC。此外,視覺系統超小的外形設計可滿足極狹窄的空間限制,無需再在晶圓上下方安裝激光光學傳感器。


如果制(zhi)造商無法(fa)在較遠(yuan)的(de)工作距離上(shang)安(an)裝(zhuang)鏡頭,康耐視(shi)還可提供專利的(de)低高度(du)光(guang)學系統來(lai)查看整(zheng)個晶圓。


2晶圓和晶片對位

常見問題

無論是在(zai)光刻工藝、晶(jing)圓(yuan)探(tan)測(ce)和測(ce)試,還是晶(jing)圓(yuan)安裝和切割過程中,視(shi)覺對準不良都會在(zai)機器(qi)的(de)(de)整(zheng)個使用壽(shou)命期(qi)間造成數以千計的(de)(de)對位損壞的(de)(de)晶(jing)圓(yuan)。表現不佳的(de)(de)視(shi)覺系(xi)統會降低半導體(ti)設(she)備(bei)公(gong)司的(de)(de)市場(chang)份(fen)額,大(da)大(da)增加其成本(ben)。

解決方案


晶圓和晶片對位.png

      PatMax技術為晶(jing)(jing)(jing)圓檢(jian)測、探(tan)測、安裝、切(qie)割和測試設(she)備(bei)(bei)提供穩定(ding)、準確且快速(su)的(de)(de)(de)圖案(an)(an)定(ding)位,以幫(bang)助避免這(zhe)些問題。PatMax使用(yong)獲得專利(li)的(de)(de)(de)幾何圖案(an)(an)發(fa)現算法來定(ding)位和對齊可(ke)變晶(jing)(jing)(jing)圓和晶(jing)(jing)(jing)粒圖案(an)(an)。它能(neng)以非常高的(de)(de)(de)精度和可(ke)重復性對準晶(jing)(jing)(jing)圓和晶(jing)(jing)(jing)片,確保整個半(ban)導體(ti)制(zhi)造流程(cheng)中設(she)備(bei)(bei)性能(neng)的(de)(de)(de)可(ke)靠性。借助康耐視技術的(de)(de)(de)幫(bang)助,OEM能(neng)夠優化(hua)設(she)備(bei)(bei)的(de)(de)(de)整體(ti)性能(neng),從而提高質量和產量。


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